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製品の詳細

プロパティ
■高速度
ボイスコイルモータモジュールは直接電磁力を直線運動に変換することができ、高速運動を発生することができる。
■高精度
全閉ループフィードバック制御直接駆動と線形エンコーダは運動損失とバックギャップを除去し、高精度を実現する。
■ハイレスポンス
モーションコントローラとの組み合わせにより、高応答を実現しました。
適用領域
計量、フォトニクス、半導体、ディスプレイなどの製造における精密走査
オンライン照会